日前,上海宏力半导体制造有限公司承担的 “0.13-0.09微米嵌入式自对准分栅闪存产品工艺开发与产业化”项目,通过了国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项的验收。这也是该全国专项首个完成验收的项目。
该项目完成了0.13-0.09微米嵌入式闪存工艺开发、ip设计和产品制造等工作,应用该工艺的20余种产品进入量产,累计申请专利443项,相关成果荣获了“上海市科技进步二等奖”。验收专家组审查了项目实施情况汇报并进行了现场测试,认为该项目完成了项目任务合同书规定的各项要求,并在知识产权、产业化等技术经济指标方面部分超过了项目任务合同书的要求。