上海集成电路研发中心开发多晶硅纳米线场效应管生物芯片-am8亚美

　　上海集成电路研发中心基于国内12英寸生产线40nm标准cmos工艺平台，开发出了最小线宽为10nm的多晶硅纳米线场效应管生物芯片，芯片对mirna标准样品的检测灵敏度可达１fm，并能区分非特异性结合的样品。检测试验也显示，该芯片可以直接检测总rna样中的特异性mirna，具有高灵敏度、快速、直接的优点。

　　该芯片以12英寸硅片为衬底，通过多晶硅淀积等工艺制造，纳米线的尺寸及侧壁倾角均可调可控，最小线宽10nm，测壁倾角60～90度，这使得纳米线的比表面积以及检测灵敏度都得到大幅提高。由于这种芯片的多晶硅纳米线采用了独特的表面功能层结构，可有效解决保存、应用中存在的容易受金属离子污染和化学因素影响而导致性能不稳定等问题。因完全基于生产线标准40nmcmos工艺和通用硅片开发，该芯片具有极好的工艺控制性和可生产性以及明显的成本优势，对开发具有高灵敏度、时效性的生物传感器有重要的科学价值和工程应用前景。