研发中心12寸铜互连中试研发线第一台设备搬入-am8亚美

　　5月13日，由诺发公司捐赠的pecvd设备搬入研发中心中试厂房净化间，此举标志着研发中心12寸铜互连中试研发线建设进入安装调试阶段。年内将有多台12寸设备安装到铜互连中试研发线上。

　　以先进的中试研发线和设备为平台，研发中心将紧跟国际业界各项主流技术和特色技术的发展趋势，加大自主知识产权技术研发力度，深化与产业界的合作，发挥国内唯一“国家级集成电路研发中心”的功效和作用。