研发中心科教兴市重大攻关项目取得进展-am8亚美

　　上海集成电路研发中心科教兴市重大攻关项目“开放式中试线建设及相关关键工艺技术开发”项目2006年全面启动。该项目将建成3000平方米12英寸的试验厂房，以90-65纳米技术代标准为起步。

　　中试线项目现已完成增资扩股，新增上海创投、上海大盛、张江集团三家股东，注册资本从1.15亿元增至3.106亿元，还完成了土地转让、环境测评、立项审批等所有施工前准备工作。

　　在技术开发方面，研发中心完成了90纳米基础工艺以及90-65纳米rf工艺模型等多项技术，2006年共申请专利35项、国际专利1项、新批准授权专利18项。研发中心与国内一批生产线项目签定了合作合同，为其提供技术来源和研发服务；同时还与行业内产业链上下游多家企业和大学研究机构在新工艺、新材料等领域进行全面深入合作。

　　另外，国家级研发中心申请工作也取得了突破性进展。目前，研发中心正在积极争取国家中长期科技发展规划重大专项之一“极大规模集成电路关键设备与成套工艺开发”项目的建设任务。