由研发中心承担的市科教兴市科技攻关重大项目“开放式中试线建设及相关关键工艺技术开发”正式启动。本项目将建成具有3000平方米净化面积的12英寸集成电路试验厂房,形成开放式的集成电路工艺中试环境,并完成一批深亚微米共性工艺开发,获得知识产权保护并服务于大生产,最终将发展成为国家级集成电路研发中心。
项目建成后将形成以下功能:
(1)为集成电路制造企业提供先进工艺研发和验证的公共平台;
(2)为国内企业提供知识产权支撑;
(3)为国内设计企业产品开发提供特色工艺模块;
(4)为国内设备和材料企业提供先进工艺设备和新材料的展示、试用及相关技术研发;
(5)为集成电路技术研发人员培养和实习提供实训基地。